三軸振動儀一般都采用壓電式的，結構形式大致有二種:①壓縮式;②剪切式，振動分析儀原理是利用石英晶體和人工極化陶瓷(PZT)的壓電效應設計而成。當石英晶體或人工極化陶瓷受到機械應力作用時，其表面就產生電荷，所形成的電荷密度的大小和所施加的機械應力的大小 成嚴格的線性關系。同時，所受的機械應力在敏感質量一定的情況下和加速度值成正比。在一定的條件下，壓電晶體受力后產生的電荷和所感受的加速度值成正比。
三軸振動儀對設備進行狀態檢測，雖不能作為設備大修周期確定的惟一依據，但作為參考條件確是非常必要的。由于水泵、風機等設備的轉速較低，因此，振動對其造成的危害不是*的。比如有些時候用測振儀檢測沒有問題，但葉輪腐蝕嚴重，也需做大修。所以，確定設備大修周期應從測振儀檢測結果、設備運行累計臺時及效率等諸方面情況來綜合考慮。
1、對于振動量測點位置的選擇
設備的任何一個組件或部位發生問題時幾乎都會產生振動，其振動會經由轉軸、基座或結構傳遞至軸承位置，因此在做定期振動量測時，都能在軸承部位進行量測，而且能量測到每個軸承。
另外，除量測水平及垂直向之外，每根軸至少需量測一個軸向測點。這是因為設備異常振動問題的研判必須仰賴比較各方向的振動值，才能做較準確的判斷。
2、從量測數據找出設備問題的方法
zui常見的設備振動問題可歸納為：對心不良、平衡不良、軸承損壞、基礎松動等四種。
如果出現水平、垂直及軸向振動大，這時水平與垂直向的振動大約為軸向的2~3倍，則基本可判定為對心不良。
如果水平及垂直振動大，但軸向振動相對很小，這時水平與垂直向的振動大約為軸向的4倍以上，則可判定為平衡不良。
總振動值在標準內，但是軸承狀況值大，則說明出現軸承損壞或者軸承潤滑不良情形。
水泥基座與基礎螺絲的振動值如果不同，則說明出現了基礎松動。
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