表面粗糙度儀測量工件表面粗糙度時，會將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發生變化，從而在相敏整流器的輸出端產生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，該信號經過放大及電平轉換之后進入數據采集系統。

但是大家使用表面粗糙度儀進行測量時，有時粗糙度儀出現超差、測量值誤差大，那么這是什么原因呢？
粗糙度儀出現超差，測值不穩定問題的出現原因基本上可以確定是傳感器出了問題。簡單介紹下粗糙度儀傳感器原理，國際上任何一家粗糙度儀傳感器包括兩種方式，一種叫壓電晶體，一種叫電感，其中壓電傳感器成本較低價格比較低廉，但是受環境濕度影響較大，當濕度超過 60 %后，出現不顯示 RA 值或超差，原因是壓電晶體內部潮濕有水汽，主要發生在南方雨季季節，建議放置干燥地方，不用的時候放在干燥箱了。

表面粗糙度儀電感原理比較復雜內部基本是機械結構，其中金剛石探針非常脆弱，在使用當中，應輕拿輕放，不可以振動，肉眼發現探針縮進孔內部，或者傳感器內部有異響，視為傳感器故障，無法使用，應寄到廠家修理，出現傳感器行走時候突然停止無法到達量程，視為主機內部傳動系統故障，應寄到廠家修理，以上原因基本是人為造成，作為儀器使用者一定在使用前看透說明書，粗糙度儀是一種非常精密儀器要愛護使用，才可以使它為您創造較高的價值。